高純標準氣體輸配管道使用管道要求有哪些?
現代工業為了達到工藝對氣體的質量要求,在氣體出口指標一定的情況下,則更需重視配管系統的材料選用和施工質量。除取決于制氣或凈化設備的精度外,在很大程度上受到管路系統諸多因素的影響,因此,管材的選取應恪守相關行業原則,并在圖紙中注明管道材質。
管路的材質則依使用的需求進行選擇,若為制程用的反應氣體則選擇高等級的316L EP管,經電解拋光(Electro-Polish)處理,耐腐蝕,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valley height)約為0.3μm以下,其值遠低于經過燒結(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微渦流,而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應的氣體,如GN2、CDA。管內表面粗糙度是衡量管材質量的標準。粗糙度越低,其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經特殊處理的AP管(Annealing & Picking),則用于不做為供氣管路的雙套外管。
管路的材質則依使用的需求進行選擇,若為制程用的反應氣體則選擇高等級的316L EP管,經電解拋光(Electro-Polish)處理,耐腐蝕,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valley height)約為0.3μm以下,其值遠低于經過燒結(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微渦流,而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應的氣體,如GN2、CDA。管內表面粗糙度是衡量管材質量的標準。粗糙度越低,其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經特殊處理的AP管(Annealing & Picking),則用于不做為供氣管路的雙套外管。